全自動(dòng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是一種高精度的測(cè)量設(shè)備，能夠在三維空間內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行尺寸、形狀和位置等方面的精確測(cè)量。其由三個(gè)相互垂直的運(yùn)動(dòng)軸X、Y、Z建立起一個(gè)直角坐標(biāo)系。測(cè)頭的一切運(yùn)動(dòng)都在這個(gè)坐標(biāo)系中進(jìn)行，通過測(cè)頭與工件表面的接觸或非接觸方式，獲取工件表面各點(diǎn)的坐標(biāo)信息（X、Y、Z）。測(cè)量時(shí)，將被測(cè)零件放在工作臺(tái)上，測(cè)頭沿X、Y、Z三個(gè)方向移動(dòng)，探測(cè)工件表面各點(diǎn)的坐標(biāo)值。這些坐標(biāo)值經(jīng)過計(jì)算機(jī)處理，可以精確地計(jì)算出被測(cè)工件的幾何尺寸、形位公差等。
1、主機(jī)機(jī)械系統(tǒng)
框架結(jié)構(gòu)：是測(cè)量機(jī)的主體機(jī)械結(jié)構(gòu)架子，由工作臺(tái)、立柱、橋框、殼體等組成，為整個(gè)測(cè)量機(jī)提供穩(wěn)定的支撐和基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)。例如，橋式結(jié)構(gòu)的測(cè)量機(jī)，其橋框橫跨在工作臺(tái)上方，為測(cè)量頭的移動(dòng)提供穩(wěn)定的軌道。
標(biāo)尺系統(tǒng)：是決定儀器精度的重要環(huán)節(jié)，用于確定測(cè)量機(jī)各軸的位置信息。常見的標(biāo)尺有線紋尺、精密絲桿、感應(yīng)同步器、光柵尺、磁尺及光波波長(zhǎng)等，該系統(tǒng)還包括數(shù)顯電氣裝置，以便將位置信息轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行讀取和處理。
導(dǎo)軌：是測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)的重要部件，多采用滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)軸承導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌，其中氣浮靜壓導(dǎo)軌為主要形式。氣浮導(dǎo)軌由導(dǎo)軌體和氣墊組成，還包括氣源、穩(wěn)壓器、過濾器、氣管、分流器等一套氣體裝置，以保證測(cè)量頭在移動(dòng)過程中的平穩(wěn)性和精度。
驅(qū)動(dòng)裝置：是測(cè)量機(jī)的重要運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)機(jī)動(dòng)和程序控制伺服運(yùn)動(dòng)的功能。一般采用的驅(qū)動(dòng)裝置有絲桿絲母、滾動(dòng)輪、鋼絲、齒形帶、齒輪齒條、光軸滾動(dòng)輪等傳動(dòng)方式，并配以伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，直線馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的應(yīng)用也在逐漸增多。
平衡部件：主要用于Z軸框架結(jié)構(gòu)中，功能是平衡Z軸的重量，使Z軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)無偏得干擾，保證檢測(cè)時(shí)Z向測(cè)力穩(wěn)定。如更換Z軸上所裝的測(cè)頭時(shí)，需重新調(diào)節(jié)平衡力的大小，以達(dá)到新的平衡，常見的平衡裝置有重錘、發(fā)條或彈簧、氣缸活塞桿等類型。
轉(zhuǎn)臺(tái)與附件：轉(zhuǎn)臺(tái)可增加測(cè)量機(jī)的一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)自由度，便于某些種類零件的測(cè)量，包括分度臺(tái)、單軸回轉(zhuǎn)臺(tái)、萬能轉(zhuǎn)臺(tái)（二軸或三軸）和數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)等。附件則包括基準(zhǔn)平尺、角尺、步距規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)球體（或立方體）、測(cè)微儀及用于自檢的精度檢測(cè)樣板等，可根據(jù)具體測(cè)量需求選用。
2、測(cè)頭系統(tǒng)
測(cè)頭本體：是直接感受被測(cè)物體表面信息的部件，可分為接觸式和非接觸式兩大類。接觸式測(cè)頭通過探針與被測(cè)物體表面接觸來獲取信息，非接觸式測(cè)頭則利用光學(xué)原理等非接觸方式進(jìn)行測(cè)量，如激光測(cè)頭、光學(xué)影像測(cè)頭等。
測(cè)頭附件：包括測(cè)頭回轉(zhuǎn)體等，可改變測(cè)頭的方向和角度，以滿足不同形狀工件和測(cè)量位置的要求，提高測(cè)量的靈活性和適應(yīng)性。
3、電氣控制硬件系統(tǒng)
電氣控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)對(duì)測(cè)量機(jī)的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控制，具有單軸與多軸聯(lián)動(dòng)控制、外圍設(shè)備控制、通信控制和保護(hù)與邏輯控制等功能，確保測(cè)量機(jī)各部件的協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)和正常運(yùn)行。
計(jì)算機(jī)硬件：是測(cè)量機(jī)的核心控制單元，一般采用PC機(jī)或工作站等，為測(cè)量軟件的運(yùn)行和數(shù)據(jù)處理提供強(qiáng)大的計(jì)算能力支持。
4、數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)
控制軟件：用于實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量機(jī)的各種操作控制，如參數(shù)設(shè)置、測(cè)量模式選擇、運(yùn)動(dòng)控制等，同時(shí)還能對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行初步的處理和管理。
數(shù)據(jù)處理與分析軟件：可對(duì)采集到的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行深入處理和分析，如擬合幾何元素、計(jì)算尺寸偏差、形狀誤差、位置誤差等，并能生成詳細(xì)的測(cè)量報(bào)告，直觀地展示測(cè)量結(jié)果，為產(chǎn)品質(zhì)量評(píng)估和工藝改進(jìn)提供依據(jù)。
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更新時(shí)間：2025-05-29 
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